[发明专利]一种用于制备矿物接触面透射电镜样品的方法在审
申请号: | 202211372191.5 | 申请日: | 2022-10-31 |
公开(公告)号: | CN116519719A | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
发明(设计)人: | 骆效能;李子颖;蔡煜琦;张艳;张字龙;贺锋 | 申请(专利权)人: | 核工业北京地质研究院 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04;G01N23/20008;G01N1/28 |
代理公司: | 核工业专利中心 11007 | 代理人: | 王婷 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明属于地质、矿物样品的透射电子显微镜测试技术领域,具体涉及一种用于制备矿物接触面透射电镜样品的方法,包括以下步骤:步骤S1、圈出需要切割透射电镜样品的区域,并记录目标区域的坐标;步骤S2、在目标区域上方沉积保护层;步骤S3、沿着垂直方向对沉积有保护层的目标区域两侧进行离子束切割;步骤S4、对沉积有保护层的目标区域进行离子束减薄;步骤S5、对沉积有保护层的目标区域两侧斜向上进行离子束切割,使目标区域完全露出;步骤S6、切割减薄后的目标区域并置于金属载物台上,制得样品。本方法对原光薄片样品损伤较小,成功率高,而且制备成的透射电镜样品质量高,满足透射电镜测试的要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 制备 矿物 接触面 透射 样品 方法 | ||
【主权项】:
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