[发明专利]基板处理装置及方法在审
| 申请号： | 202211376255.9 | 申请日： | 2022-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN116265137A | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 郑泓具 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B5/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种用于使处理槽内的雾气扩散最小化的基板处理装置。该基板处理装置包括：处理槽；传送部件，设置在处理槽内，并且沿第一方向移动基板；第一喷嘴，设置在传送部件上方，沿与第一方向不同的第二方向延伸，并向基板供应液态化学品；以及排气部件，设置在传送部件上方，沿与第一方向不同的第三方向延伸，并且布置在相对于第一喷嘴的前方或后方，其中，排气部件排出由从第一喷嘴供应的液态化学品与基板碰撞而产生的雾气。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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