[发明专利]一种芯片深沟腐蚀装置

摘要

本发明公开了一种芯片深沟腐蚀装置，涉及芯片加工技术领域。本发明包括装置主体，所述装置主体的内壁底部转动安装有转杆，所述转杆通过外接电机驱动，所述转杆的顶部外壁套接且滑动安装有承载盘，所述承载盘的底部与装置主体的内壁底部之间设有弹簧，所述装置主体的内壁左侧和右侧均固定有电动伸缩杆。本发明通过防旋涡装置的设置，使得通过斜叶的设置，使得酸液流过斜叶时，斜叶对流动的酸液进行阻挡，从而避免了装置主体内酸液的液面产生波浪或漩涡，导致芯片露出液面的问题，从而确保了芯片腐蚀质量，同时承载盘、凸球块和滑环配合带动斜叶对酸液产生的旋涡外围进行拍击，从而进一步避免了酸液产生旋涡的问题。