[发明专利]获取并处理CDSEM文件的方法在审
| 申请号： | 202211402206.8 | 申请日： | 2022-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN115828878A | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 刘朗;陆正;江志兴 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G06F40/186 | 分类号： | G06F40/186;G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦健 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种获取并处理CDSEM文件的方法，所述方法包括：通过曝光工艺于晶圆上形成光刻胶图案；将晶圆置于量测机台内，并设置机台参数对光刻胶图案的关键尺寸进行量测以获取CDSEM文件；于终端输入CDSEM文件的绝对路径以读取CDSEM文件；对CDSEM文件中的数据进行匹配以筛选出目标数据；判断目标数据是否为FEM数据；若判断结果为是，利用数据分析库将目标数据转为第一种形式的模板文件，若判断结果为否，利用数据分析库将目标数据转换为第二种形式的模板文件；于终端导出模板文件。通过本发明解决了以现有的获取及处理CDSEM文件的方法所存在的效率较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 获取 处理 cdsem 文件 方法 | ||
【主权项】：
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