[发明专利]一种Nb3在审

专利信息
申请号: 202211406938.4 申请日: 2022-11-10
公开(公告)号: CN116024536A 公开(公告)日: 2023-04-28
发明(设计)人: 周恩飞;潘熙锋 申请(专利权)人: 福建师范大学
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/56
代理公司: 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 代理人: 戴雨君
地址: 350108 福建省福州*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种Nb3Al前驱体线材的表面覆铜方法,首先将Nb3Al前驱体线材在高真空腔室中的收放线轮处进行绕线处理,对腔室进行抽真空,同时开启腔室加热,启用线材加热器,对Nb3Al前驱体线材进行加热以去除线材表面水汽,接着对Nb3Al前驱体线材表面进行离子源清洗,然后启用平面阴极溅射电源对Nb3Al前驱体线材表面进行覆铜。本发明提供的Nb3Al前驱体线材的表面覆铜方法,不仅具有覆铜界面结合度高、线材应力应变性能好的优点,而且具备工艺流程简单、可大规模工业化生产的特点。
搜索关键词: 一种 nb base sub
【主权项】:
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