[发明专利]一种基于ALD工艺的氧化铝与氮化硅二合一机台镀膜设备

摘要

本发明及镀膜设备技术领域，公开了一种基于ALD工艺的氧化铝与氮化硅二合一机台镀膜设备，包括滑轨，滑轨上开设有两条滑槽，滑轨的上方依次设置有清理机构、制绒机构、酸洗机构、调节机构以及镀膜机，滑轨上还设置有两组夹持机构，两夹持机构与上各机构相互配合，制绒机构用于物料表面制绒，酸洗机构用于制绒后物料表面的杂质的清理，调节机构用于调节物料的形态；本发明通过设置两组夹持组件与上方的各个机构相互配合，可自动完成对物料表面清理、制绒、酸洗、以及镀膜等工艺，且通过设置调节机构与夹持组件的配合，对物料表面进行深度清理，进一步提升了表面的酸洗效果，同时提升表面的镀膜效果。