[发明专利]用于基板接合的化学溶液注入方法及系统在审
| 申请号： | 202211431723.8 | 申请日： | 2022-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN116135334A | 公开（公告）日： | 2023-05-19 |
| 发明（设计）人： | 梁汀淳;沈知训 | 申请（专利权）人： | 纳瑞精密设备有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/02;B05D1/26;B05C13/02;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京市汉坤律师事务所 11602 | 代理人： | 王其文;张涛 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的用于基板接合的化学溶液注入方法，包括：步骤a)通过位置固定装置放置基板组件，使基板组件相对于底面倾斜，且使借助于真空抽吸区域而形成的抽吸口高于借助于化学溶液注入区域而形成的注入口，基板组件包括彼此相对的第一基板及第二基板，第一基板及第二基板在各个边缘具有化学溶液注入区域、密封区域及真空抽吸区域；步骤b)通过真空抽吸装置向基板组件的抽吸口施加真空抽吸力，通过化学溶液供给装置向基板组件的注入口供给化学溶液；步骤c)通过控制装置控制化学溶液供给装置及真空抽吸装置，以基于通过注入口注入的化学溶液的流量及压力中的一种以上，调节向注入口供给的化学溶液的供给量及施加于抽吸口的真空抽吸力中的一种以上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 接合 化学 溶液 注入 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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