[发明专利]洁净室废气送风系统及其送风方法在审
申请号: | 202211436350.3 | 申请日: | 2022-11-16 |
公开(公告)号: | CN115727433A | 公开(公告)日: | 2023-03-03 |
发明(设计)人: | 陈辉 | 申请(专利权)人: | 广州沃泰芯电子技术有限公司 |
主分类号: | F24F3/167 | 分类号: | F24F3/167;F24F7/003;F24F7/06;F24F8/108;F24F11/64;F24F11/80;F24F11/88;F24F12/00;F24F13/30;F24F110/10 |
代理公司: | 广州专才专利代理事务所(普通合伙) 44679 | 代理人: | 杨惠邦 |
地址: | 510000 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种洁净室废气送风系统及其送风方法,该洁净室废气送风系统包括洁净室排气管路、排气风机、送风通道、设置在送风通道的第一风阀、尾气处理通道、第二风阀、待调温室、换热围壁件、以及废气外排管道;所述换热围壁件设置在待调温室内,且换热围壁件与待调温室的内壁共同围成换热风腔,所述送风通道的其中一端与洁净室排气管路连通,另一端与换热风腔连通;所述换热围壁件上设置有与换热风腔连通的进风口,所述进风口处安装有进风风机;所述换热围壁件上还设置出风口,所述出风口与废气外排管道连通。本发明可借助洁净室废气调节待调温室室内温度,达到冬暖夏凉效果,可减少空调设备成本及空调设备运行成本。 | ||
搜索关键词: | 洁净室 废气 送风 系统 及其 方法 | ||
【主权项】:
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