[发明专利]电子级多晶硅筛分装置在审
| 申请号： | 202211468898.6 | 申请日： | 2022-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN115739580A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 闫家强;吴鹏;田新;张天雨 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫华半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B07B1/10 | 分类号： | B07B1/10;B07B1/46;B08B15/04 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 季永杰 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种电子级多晶硅筛分装置，包括：第一传送装置，所述第一传送装置包括第一筛分板，所述第一筛分板上设置有第一筛分孔；第二传送装置，所述第二传送装置设置于所述第一筛分板运动方向的一端，所述第二传送装置包括第二筛分板，所述第二筛分板上设置有沿所述第二方向贯穿所述第二筛分板的第二筛分孔，所述第一筛分孔的直径小于所述第二筛分孔的直径；由此，该电子级多晶硅筛分装置在筛分电子级多晶硅的过程中可避免产生大量的碎屑和微粉，保证生产洁净，防止电子级多晶硅被污染，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 多晶 筛分 装置 | ||
【主权项】：
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