[发明专利]一种隧穿型背接触异质结太阳能电池及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202211531546.0 申请日: 2022-12-01
公开(公告)号: CN115763609A 公开(公告)日: 2023-03-07
发明(设计)人: 林锦山;谢志刚;张超华;廖培灿;黄晓狄;黄天福 申请(专利权)人: 福建金石能源有限公司
主分类号: H01L31/0747 分类号: H01L31/0747;H01L31/20
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 张娟娟
地址: 362200 福建省泉州市*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及一种隧穿型背接触异质结太阳能电池的制作方法,硅片背面划分为第一半导体区、第二半导体区以及位于第一半导体区和第二半导体区之间的隔离区;该制作方法包括如下步骤,A.在硅片背面形成背面钝化层;B.在背面钝化层上形成绝缘膜层;C.去除第一半导体区上的绝缘膜层,以形成第一半导体区开口;D.在硅片背面形成第一导电型的第一半导体膜层;E.去除第二半导体区上的第一半导体层和绝缘膜层,以形成第二半导体区开口;F.在硅片背面形成第二导电型的第二半导体膜层。本发明的目的在于提供一种隧穿型背接触异质结太阳能电池及其制作方法,其能极大缩短制造流程,生产成本降低。
搜索关键词: 一种 隧穿型背 接触 异质结 太阳能电池 及其 制作方法
【主权项】:
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