[发明专利]清洗装置在审
| 申请号： | 202211535384.8 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN115815198A | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 李亮亮 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 李红标 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种清洗装置，包括：清洗槽，清洗槽具有清洗腔；第一承载结构用于承载待清洗件，第一承载结构可移动；第二承载结构用于承载待清洗件，第二承载结构可移动；驱动机构用于在驱动第一承载结构移动至脱离待清洗件的情况下，驱动第二承载结构移动至承载待清洗件；驱动机构用于在驱动第一承载结构移动至承载待清洗件的情况下，驱动第二承载结构移动至脱离待清洗件。待清洗件可以为硅片，在槽内清洗硅片时，通过第一承载结构与第二承载结构可以交替进行承载待清洗件，使承载结构与硅片接触部位得到较好清洗，提高硅片的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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