[发明专利]一种半导体加工脚本获取方法、系统、设备及存储介质在审
| 申请号： | 202211539699.X | 申请日： | 2022-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN115951893A | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 高军 | 申请（专利权）人： | 深圳微迅信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F8/41 | 分类号： | G06F8/41 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘攀 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种半导体加工脚本获取方法、系统、设备及存储介质，其中，所述方法包括：所述客户端向所述服务器发送目标机型编码，其中，所述目标机型编码为预先为目标加工机型配置的机型编码，所述目标加工机型为在对半导体进行目标工艺的加工时所需使用的加工机型；所述服务器根据所述目标机型编码从脚本数据库中确定出与所述目标加工机型相匹配的初始加工脚本，并将所述初始加工脚本发送至所述客户端；所述服务器响应用户通过所述客户端对所述初始加工脚本中的参数进行的修改操作，将修改后的初始加工脚本作为目标加工脚本进行存储。采用上述方法，以减少在获取半导体加工脚本时所需耗费的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 加工 脚本 获取 方法 系统 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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