[发明专利]一种陶瓷盘清洗处理装置

摘要

本发明公开了一种陶瓷盘清洗处理装置，包括外壳，外壳的顶板在第一工位、第二工位和第三工位的位置分别固定安装有排风口，外壳的顶板在第四工位的位置固定安装有高效过滤器FFU，外壳的内部设置有晶圆搬运装置、晶圆清洗装置和晶圆存取机构，晶圆存取机构固定安装在所述第一工位和第四工位的一侧，第四工位的晶圆清洗装置上还固定安装有吹气清理装置。本发明的有益效果是，通过上端的排风口对晶圆进行药水的喷淋，同时利用上部毛刷和下部毛刷对晶圆进行清理，且是多工位同时进行药水的清洗，可以提高药水清洗的效率，在药水清洗完成后，在第四工位进行水洗，保证晶圆的表面的洁净度，将残留于晶圆表面的污染物质应尽数去除。