[发明专利]MO源瓶固定装置及MO源瓶温控装置在审
| 申请号： | 202211560676.7 | 申请日： | 2022-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN115783477A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 刘晨晖;冒凯;尧舜;胡斌;董国亮;汤秀娟 | 申请（专利权）人： | 华芯半导体科技有限公司;华芯半导体研究院（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/10 | 分类号： | B65D25/10;B65D81/34 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 225500 江苏省泰州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MO源瓶固定装置及MO源瓶温控装置，所述MO源瓶固定装置包括槽体、支撑件和至少两个固定组件，支撑件和固定组件均位于槽体的容纳腔中，固定组件包括承托固定板和连接杆，连接杆的外端铰接在槽体上，连接杆的内端与承托固定板铰接，支撑件连接每个承托固定板，多个承托固定板和支撑件围成能够容纳MO源瓶的容纳空间，支撑件能够伸缩，以使得连接杆围绕其外端转动时，承托固定板能够相互接近或者远离。本发明提供的MO源瓶固定装置及MO源瓶温控装置可保证在使用不同规格的源瓶、在不同安装情形下的稳定性要求，保证了源瓶使用过程中外部稳定，达到出源稳定的目的。 | ||
| 搜索关键词： | mo 固定 装置 温控 | ||
【主权项】：
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