[发明专利]一种纳米压印硬模板的清洗方法在审
| 申请号： | 202211562943.4 | 申请日： | 2022-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN115770751A | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 徐明金;史晓华 | 申请（专利权）人： | 苏州光越微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/04;B08B13/00;F26B5/08 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 黄丽莉 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种纳米压印硬模板的清洗方法，具体包括以下步骤：S1：将纳米压印硬模板浸泡于DHF溶液中；S2：利用纯水去除纳米压印硬模板表面的DHF溶液；S3：利用SPM溶液去除纳米压印硬模板表面的有机物，SPM溶液为硫酸与双氧水的混合溶液；S4：利用纯水去除纳米压印硬模板表面的SPM溶液；S5：利用SC1溶液去除纳米压印硬模板表面的金属离子，SC1溶液为氨水、双氧水与水的混合溶液；S6：利用纯水去除纳米压印硬模板表面的SC1溶液；S7：利用SRD甩干机对纳米压印硬模板进行干燥处理。本发明可以有效的清洗掉硬模板表面的软膜胶，使硬模板可以重复利用降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 模板 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州光越微纳科技有限公司，未经苏州光越微纳科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211562943.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
