[发明专利]激光加工连续图形的装置与方法及电子器件蚀刻装置与方法有效
申请号: | 202211573101.9 | 申请日: | 2022-12-08 |
公开(公告)号: | CN115815821B | 公开(公告)日: | 2023-08-11 |
发明(设计)人: | 袁剑;黎锦宁;卢孙平;朱建;李善基 | 申请(专利权)人: | 深圳铭创智能装备有限公司 |
主分类号: | B23K26/362 | 分类号: | B23K26/362;B23K26/70;B23K26/03;B23K26/06;B23K37/04 |
代理公司: | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人: | 于青娟 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种激光加工连续图形的装置与方法及电子器件蚀刻装置与方法,涉及激光加工技术领域。该装置包括控制单元、激光三维扫描单元和反射单元,控制单元控制激光按照第一待加工区域的预设轨迹坐标由激光三维扫描单元出射至第一待加工区域、按照第二待加工区域的预设轨迹坐标由激光三维扫描单元出射后经反射单元反射至第二待加工区域;第一待加工区域的预设轨迹坐标对应第一待加工区域目标图形的空间坐标,第二待加工区域的预设轨迹坐标对应第二待加工区域目标图形通过反射单元成像的空间坐标。加工过程无需变换工件位置,激光扫描精度决定了加工精度,精度得以保证,同时降低了成本,提高了效率。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 连续 图形 装置 方法 电子器件 蚀刻 | ||
【主权项】:
暂无信息
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