[发明专利]蚀刻液的检测方法在审
| 申请号： | 202211577978.5 | 申请日： | 2022-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN115728257A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 朱海峰;龙安芬 | 申请（专利权）人： | 广东大彤化工有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31;G01N21/78;G01N31/16 |
| 代理公司： | 东莞科强知识产权代理事务所(普通合伙) 44450 | 代理人： | 李林学 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了蚀刻液的检测方法，包括以下步骤：步骤一，总酸含量的测定；步骤二，实验试剂的配制；步骤三，建立标准曲线；步骤四，氢氟酸含量的测定；步骤五，计算分析；所述步骤2.4中，所配制的缓冲溶液的pH值应为4.5，若有差异，则用乙酸钠或乙酸调节pH为4.5；所述步骤四中，测定氢氟酸含量的实验原理为：氟与茜素络合指示剂和硝酸镧反应，生成蓝色络合物，颜色随着氟离子浓度的增高而加深；本发明采用紫外/可见光分光光度计的标准曲线测试方案进行蚀刻液成分检测，具有测试范围广阔、测试稳定度高、检测成本低廉的优点，也可以避免对检测仪器造成腐蚀，以此在保证检测数据可靠性的同时，降低检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 检测 方法 | ||
【主权项】：
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