[发明专利]激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台有效
| 申请号： | 202211590933.1 | 申请日： | 2022-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN115849048B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 周佳;王子翔;蒲计志 | 申请（专利权）人： | 利晶微电子技术（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | B65G69/24 | 分类号： | B65G69/24;B65G47/74;H01L33/00 |
| 代理公司： | 无锡松禾知识产权代理事务所(普通合伙) 32316 | 代理人： | 杨欠欠 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市梁*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光辅助MicroLED巨量转移系统的三维运动台，包括水平的板状运动台和XYZ三方向驱动单元，XYZ三方向驱动单元包括同步带，同步带内包括三个同步带轮，三个同步带轮将同步带张紧成等腰顶点朝下的等腰三角形；同步带上端的一段为水平段带体，板状运动台水平于所述水平段带体上侧，且水平段带体的上侧中部至少存在一个节点与所述板状运动台底面固定；本发明将板状运动台的XYZ三方向的位置微调结构高度集成化，实现空间节约的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 辅助 microled 巨量 转移 系统 三维 运动 | ||
【主权项】：
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