[发明专利]用于MiniLED晶圆缺陷的快速检测系统有效
申请号: | 202211603748.1 | 申请日: | 2022-12-14 |
公开(公告)号: | CN115661143B | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | 何永清;陈丽英 | 申请(专利权)人: | 惠州威尔高电子有限公司 |
主分类号: | G06T7/00 | 分类号: | G06T7/00;G06T7/10;G06V10/75;G01N21/88;H01L33/00;H01L21/66 |
代理公司: | 广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙) 44438 | 代理人: | 陈惠珠 |
地址: | 516155 广东省惠州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及图像处理技术领域,具体涉及用于MiniLED晶圆缺陷的快速检测系统。该系统获得MiniLED晶圆局部表面图像的边缘二值图在霍夫空间中的霍夫空间二值图像。在霍夫空间二值图像中获得多组列像素点序列对,选择最大第一优选度的列像素点序列对作为最优列像素点序列对。进而通过第二优选度对每条最优列像素点序列进行筛选,获得最终分割点。根据霍夫空间中的分割点在MiniLED晶圆局部表面图像中的直线信息进行图像分割,获得晶粒图像,对晶粒图像进行模板匹配,获得检测结果。本发明通过在霍夫空间中的准确筛选,获得分割效果优秀的分割点对图像进行分割,进而提高检测结果的准确性。 | ||
搜索关键词: | 用于 miniled 缺陷 快速 检测 系统 | ||
【主权项】:
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