[发明专利]热场组件、单晶炉、漏液检测装置及其方法在审
| 申请号： | 202211603817.9 | 申请日： | 2022-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN115976632A | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 纪天平;张鹏举 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B15/20;F27B14/20;F27B14/14 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 丁文蕴 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本公开提供一种热场组件、单晶炉、漏液检测装置及其方法，热场组件包括：底加热器，底加热器包括相背设置的顶面和底面，底加热器上设有贯穿顶面和底面的第一螺栓孔；呈托盘状的底部盖板，底部盖板包括相背的顶盘面和底盘面，底加热器设置于顶盘面且底面直接接触顶盘面，底部盖板采用绝缘且耐高温材料制成，底部盖板上设有与第一螺栓孔对应的第二螺栓孔；及底电极，底电极位于底盘面背离顶盘面的一侧，且底电极通过穿设于第一螺栓孔和第二螺栓孔内的紧固螺栓直接连接至底加热器上。本公开提供的热场组件、单晶炉、漏液检测装置及其方法，能够及时发现漏液。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 单晶炉 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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