[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202211609459.2 | 申请日: | 2022-12-14 |
公开(公告)号: | CN116367533A | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 崔雅朗;尹燦植;柳镐仁;韩正勳 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H10B12/00 | 分类号: | H10B12/00 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 刘林果;尹淑梅 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种半导体装置。所述半导体装置包括:有源区,由器件隔离区限定在基底中;沟槽,在第一方向上延伸以与有源区交叉;掩埋栅极结构,分别掩埋在沟槽中,并且具有位于比有源区的上表面的水平低的水平上的上表面;缓冲结构,覆盖有源区、器件隔离区和掩埋栅极结构;位线结构,在有源区上在与第一方向交叉的第二方向上延伸,并且连接到有源区;存储节点接触件,位于位线结构之间,穿过缓冲结构,并且与有源区接触;以及电容器结构,与存储节点接触件的上表面接触。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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