[发明专利]SEM图像质量评价方法在审
| 申请号： | 202211619735.3 | 申请日： | 2022-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN115880259A | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 简晓敏;周全;李宜清 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T5/10;G06T5/00 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 吴浩 |
| 地址： | 201702 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种SEM图像质量评价方法，所述SEM图像质量评价方法，包括：获取第一SEM图像，对所述第一SEM图像进行傅里叶变换；根据第一SEM图像进行傅里叶变换的结果，获取第一SEM图像所对应的频谱图和相位图；根据频谱图中的亮点的幅值，获取第一评分；根据相位图重建SEM图像，以获取第二SEM图像；根据第二SEM图像的边缘信息，获取第二评分；根据第一评分和第二评分，获取第一SEM图像的质量评价分数。本发明能够实现无需去除图像噪声，就可得到准确的SEM图像质量的评价结果。 | ||
| 搜索关键词： | sem 图像 质量 评价 方法 | ||
【主权项】：
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