[发明专利]搬送装置及成膜装置在审
| 申请号： | 202211637437.7 | 申请日： | 2022-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN116497335A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 住川谦 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/34;C23C14/04 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在串联式的成膜装置中使用的搬送装置中，即使在搬送路径中存在方向转换的情况下也能够使搬送体移动用的技术。使用对搬送体进行搬送的搬送装置，其具备对搬送体进行搬送的多个搬送辊、对多个搬送辊进行驱动的驱动机构、设有多个搬送辊和驱动机构的旋转台、以及使旋转台转动以便切换多个搬送辊沿着第一方向排列的状态和多个搬送辊沿着与第一方向交叉的第二方向排列的状态的转动机构，驱动机构配置于在旋转台设置的大气箱的内部。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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