[发明专利]一种带直边晶圆的边缘辐照方法、装置和设备在审
| 申请号： | 202211650343.3 | 申请日： | 2022-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN115933318A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 魏猛;王阳;刘莹 | 申请（专利权）人： | 芯达半导体设备（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 辽宁惟则知识产权代理事务所(普通合伙) 21273 | 代理人： | 李巨智 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供了一种带直边晶圆的边缘辐照方法、装置和设备。所述方法包括调整光纤传感器使光纤照射位置处于直边晶圆的外圆环与直边中点所在圆环之间；以带直边晶圆的中心为原点建立三维坐标系，使带直边晶圆沿三维坐标系的Z轴旋转；当光纤传感器的光路处于非导通状态时，以当前位置作为初始位置旋转带直边晶圆，获取第一次光纤信号变化和第二次光纤信号变化，根据对应的角度计算带直边晶圆的目标旋转角度；若带直边晶圆在目标旋转角度停止，则对带直边晶圆的边缘进行辐照。以此方式，可以实现不对旋转中的晶圆进行停止，即可使晶圆停止在目标位置，通过紫外光源进行边缘辐照，简化了晶圆边缘辐照的过程，提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带直边晶圆 边缘 辐照 方法 装置 设备 | ||
【主权项】：
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