[发明专利]一种平面靶材的绑定方法在审
| 申请号： | 202211651756.3 | 申请日： | 2022-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN115928027A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 胡习光;张志祥;包辉 | 申请（专利权）人： | 江阴恩特莱特镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214400 江苏省无锡市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及靶材生产技术领域，尤其涉及一种平面靶材的绑定方法。先分别制作出靶材板和坯板，坯板包括与背板相同的主体，且该主体上设置有凸台，凸台上设置有凹台，之后将靶材板和坯板放置在加热平台上进行加热，向凹台内和靶材板上涂铟，然后将靶材板放入凹台内，之后在坯板的两侧放置支撑条，然后在靶材板的顶面放置压板，压板的两侧受到支撑条的支撑后靶材板停止向下移动，之后将上述组合体冷却并进行机加工，得到所需平面靶材。本发明的方法制得的靶材，其铟层中缩孔大幅减少，从而实际的粘接率大幅提高，提升了靶材板和背板之间的导热能力，靶材所能承受的功率得到提高，进而可以在使用时提升功率来提升溅射效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 绑定 方法 | ||
【主权项】：
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