[发明专利]一种薄膜电路产品制备方法在审
申请号: | 202211653664.9 | 申请日: | 2022-12-22 |
公开(公告)号: | CN115802627A | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 丁明建;杨俊锋;冯毅龙;严裕杨 | 申请(专利权)人: | 广州天极电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H05K3/02 | 分类号: | H05K3/02 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 常祖正 |
地址: | 511400 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种薄膜电路产品制备方法,涉及薄膜电路产品制备领域。该方法包括:采用离子注入方式在基板上沉积一层铜金属电极层,形成注入铜离子后的基板;注入的铜原子在高速离子束的作用下进入到所述基板的浅表面内;对所述注入铜离子后的基板进行处理,制备薄膜电路产品。本发明能够提高金属层附着力以及产品合格率,且能够降低产品生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜 电路 产品 制备 方法 | ||
【主权项】:
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