[发明专利]一种薄膜电路产品制备方法在审

专利信息
申请号: 202211653664.9 申请日: 2022-12-22
公开(公告)号: CN115802627A 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 丁明建;杨俊锋;冯毅龙;严裕杨 申请(专利权)人: 广州天极电子科技股份有限公司
主分类号: H05K3/02 分类号: H05K3/02
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 常祖正
地址: 511400 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种薄膜电路产品制备方法,涉及薄膜电路产品制备领域。该方法包括:采用离子注入方式在基板上沉积一层铜金属电极层,形成注入铜离子后的基板;注入的铜原子在高速离子束的作用下进入到所述基板的浅表面内;对所述注入铜离子后的基板进行处理,制备薄膜电路产品。本发明能够提高金属层附着力以及产品合格率,且能够降低产品生产成本。
搜索关键词: 一种 薄膜 电路 产品 制备 方法
【主权项】:
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