[发明专利]一种气压可控真空系统在审
申请号: | 202211660430.7 | 申请日: | 2022-12-23 |
公开(公告)号: | CN115933772A | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 陈伟章;赵斌斌;李刚;康军伟;李庆运;王东鉴 | 申请(专利权)人: | 深圳市步锐生物科技有限公司 |
主分类号: | G05D16/20 | 分类号: | G05D16/20 |
代理公司: | 深圳市广诺专利代理事务所(普通合伙) 44611 | 代理人: | 王娜 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种气压可控真空系统,属于真空系统领域,包括真空腔,所述真空腔上装有一个气体引入接口以及一个真空计,该系统还包括一个自动控制模块,所述真空计与自动控制模块保持电性连接,所述真空腔的外部还连通了一个抽真空装置,所述真空腔与抽真空装置的连接管道上安装有一个电磁比例阀,所述电磁比例阀也与自动控制模块保持电性连接。本发明将电磁比例阀应用到真空系统控制中,提出一种包括真空腔体、真空计、真空泵、电磁比例阀、自动控制模块等在内,可以实时、快速、无级调整气压值的真空系统,且该系统具有自适应稳定性,可将气压值稳定在设置值的一定范围内。 | ||
搜索关键词: | 一种 气压 可控 真空 系统 | ||
【主权项】:
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