[发明专利]一种间隙检测系统、方法及焦面修正的方法在审
| 申请号： | 202211672168.8 | 申请日： | 2022-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN115981109A | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;王彦钦;赵承伟;龚天诚;王长涛;张文豪;张逸云;唐燕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 肖慧 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本公开提供一种间隙检测系统，用于检测模板和基板之间的全局间隙数据，包括：支撑框架；模板架，包括检焦模块，用于实时监测模板与基板之间的间隙数据；工件台模块，包括承片台，用于调整基板的位置和姿态；正立面形检测模块，用于对基板进行检测，得到第一面形数据；折转面形检测模块，可在检测位置、避让位置之间进行位置切换，用于对模板进行检测，得到第二面形数据；控制系统，用于获取模板、基板的位置数据以及正立面形检测模块、折转面形检测模块的标定数据，在获取模板与基板间的倾斜角度后，用于结合位置数据、标定数据、第一面形数据和第二面形数据计算得到模板与基板之间的全局间隙数据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 间隙 检测 系统 方法 修正 | ||
【主权项】：
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