[发明专利]用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置在审
| 申请号： | 202211682298.X | 申请日： | 2022-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN115648118A | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 谷礼杰;李祥;尧舜;刘晨晖 | 申请（专利权）人： | 华芯半导体研究院（北京）有限公司;华芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B25B27/00 | 分类号： | B25B27/00;B25J15/00;B25J19/00 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 魏言笑 |
| 地址： | 101300 北京市顺*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于化合物半导体材料外延生长的过滤器的维护装置，用于装卸不同安装角度的过滤器的滤筒或者滤芯，包括：机身；抓取组件，包括夹爪和角度调节机构，所述夹爪用于夹取所述滤筒或者滤芯，所述角度调节机构用于调节所述夹爪的夹取角度，以使其能够夹取不同安装角度的所述滤筒或者滤芯；移动组件，设于所述机身上并连接所述抓取组件，所述移动组件用于沿不同方向移动所述抓取组件，以使其能够装卸不同安装方向的所述滤筒或者滤芯。本申请的维护装置，其夹爪角度可调并且能够沿不同方向移动，从而可以解决人工装卸滤筒时因容易磕碰到密封圈和接触面而导致密封性降低以及普通装卸设备适用性不强的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化合物 半导体材料 外延 生长 过滤器 维护 装置 | ||
【主权项】：
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