[发明专利]多层铜质材料的双面研磨方法在审
| 申请号： | 202211693215.7 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN116141188A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 刘伟恒 | 申请（专利权）人： | 佛山华智新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/08;B24B37/14;B24B37/005 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 苏婕 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市南海区狮山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层铜质材料的双面研磨方法，研磨方法包括以下步骤：利用上研磨盘以及下研磨盘同时对所述多层铜质材料依次进行研磨处理，所述研磨处理包括第一次双面研磨，第二次双面研磨、第三次双面研磨以及第四次双面研磨，上述双面研磨方法通过优化磨盘本身配方改变磨盘自身特性，消除磨盘内部树脂团聚颗粒，以达到避免工件研磨深划痕出现，还可以进一步提高研磨效率。配合优化的多段研磨参数，有效避免铜质材料表面粗糙度不良、边角毛刺、塌边以及深划痕等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 材料 双面 研磨 方法 | ||
【主权项】：
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