[发明专利]气体供给组件在审
| 申请号： | 202211693826.1 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN116387126A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 金亨昶 | 申请（专利权）人： | TES股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 贺财俊;刘芳 |
| 地址： | 韩国京畿道龙仁市处*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种气体供给组件，更详细来说涉及一种在对基板供给工艺气体的情况下可对基板的中央与边缘均匀地供给工艺气体的气体供给组件。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 供给 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于TES股份有限公司，未经TES股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211693826.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
