[发明专利]一种镀膜用测温系统及安装方法在审
| 申请号： | 202211694520.8 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN115950545A | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 李长辉;陈云;全峰 | 申请（专利权）人： | 深圳优普莱等离子体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02;G01K1/14;C23C16/52;C23C16/511;C23C16/44 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 谢松 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明区光*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镀膜用测温系统及安装方法，所述测温系统通过热电偶与真空密封组件连接后安装在腔体上的设置方式，且配合进入腔体的真空腔室中的热电偶上测量端可弯折或伸直，从而使热电偶上测量端与基片台上测量孔配合连接，进而在为表面积更大或更小的零部件镀膜相应更改基片台时，无需再重新安装热电偶，从而提高工作效率，并保证腔体的真空腔室的密封性，提高测温效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 测温 系统 安装 方法 | ||
【主权项】：
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