[发明专利]一种晶圆测试台在审
| 申请号： | 202211695482.8 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN115951199A | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 白建民;于升辉;朱跃强;高慧欣;姚锡刚;白俊;朱海华 | 申请（专利权）人： | 宁波希磁电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 杨洋 |
| 地址： | 315221 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆测试台，包括测试盒、磁场发生装置、聚磁装置和测试装置，测试盒内设有测试腔，磁场发生装置设于所述测试腔内，聚磁装置设于所述测试腔内，且所述聚磁装置设于所述磁场发生装置一侧，测试装置与所述测试盒连接，所述测试装置中的探针设于所述测试腔内，以对所述测试腔的待测晶圆测试。此结构的晶圆测试台，通过在测试腔内设置磁场发生装置和聚磁装置，使得在通过测试装置中的探针对测试腔内的待测晶圆进行测试时，磁场发生装置和聚磁装置能够为待测晶圆提供磁场，从而满足磁电阻晶圆在测试过程中对所需外加磁场的需要，完成对灵敏度，精度的测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 | ||
【主权项】：
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