[发明专利]一种硅腐蚀剂在审
| 申请号： | 202211696201.0 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN115895663A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 郁亮;周志坚;李兴元;王建远;徐强 | 申请（专利权）人： | 昆山金城试剂有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅腐蚀剂，包括第一粗腐蚀液、第二粗腐蚀液和精腐蚀液；第一粗腐蚀液由38％‑42％的氢氟酸、65％‑70％的硝酸、99.9％的冰乙酸和30％‑32％的六氟硅酸组成，按照体积百分比，氢氟酸：硝酸：冰乙酸：六氟硅酸等于2：3：1：1；第二粗腐蚀液由38％‑42％的氢氟酸、65％‑70％的硝酸、99.9％的冰乙酸和90％‑98％的氟化铵组成，按照体积百分比，氢氟酸：硝酸：冰乙酸：氟化铵等于2：4：1：0.5；精腐蚀液由38％‑42％的氢氟酸、65％‑70％的硝酸和99.9％的冰乙酸组成，按照体积百分比，氢氟酸：硝酸：冰乙酸等于2：2：1。本发明提供的腐蚀剂包括两次粗腐蚀和一次精腐蚀，对光阻玻璃芯片进行粗腐蚀和精腐蚀相结合，开沟速率快、误差小，提高了生产效率，增加了腐蚀后芯粒的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 腐蚀剂 | ||
【主权项】：
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