[发明专利]一种计算晶圆键合界面接触振动固有频率的方法在审
| 申请号： | 202211697588.1 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN115828469A | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 孙韵韵;吴兵;巫世晶 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G06F30/17 | 分类号： | G06F30/17;G06F119/14 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 黄靖 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种计算晶圆键合界面接触振动固有频率的方法，包括：S1、测量晶圆的表面形貌，根据测得的轮廓高度分布计算晶圆表面的分形维数和分形粗糙度，获得具有纳观粗糙分形特征的晶圆表面轮廓高度函数；S2、构建纳观尺度上具有光滑轮廓的基体，根据晶圆表面的轮廓高度函数建立具有纳观粗糙分形特征的晶圆键合界面分子动力学模型；S3、模拟晶圆界面的动态键合过程，拟合得到键合力关于晶圆法向变形量的函数关系；S4、将晶圆键合界面的法向接触振动等效为单自由度弹簧质量系统，确定晶圆键合界面接触振动固有频率。本发明考虑了晶圆表面的纳观粗糙分形特征，确定了不同键合力对应的晶圆键合界面固有频率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 计算 晶圆键合 界面 接触 振动 固有频率 方法 | ||
【主权项】：
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