[发明专利]对准标记版图及其操作方法在审
| 申请号： | 202211697705.4 | 申请日： | 2022-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN116344511A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 李泽逵;顾中良;王婷;刘盼;张健 | 申请（专利权）人： | 荣芯半导体（淮安）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/68;H01L21/66;H01L27/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张英英 |
| 地址： | 223005 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种对准标记版图及其操作方法，所述对准标记版图包括：多个呈旋转对称的子标记，每个子标记包含当前层子标记以及参考层子标记；其中，所述当前层子标记包含平行分布的若干条当前层条形标记，且存在至少一条当前层条形标记的长度大于其他当前层条形标记，每条当前层条形标记的宽度为当前层的关键尺寸线宽，相邻的当前层条形标记之间的距离为所述当前层的关键尺寸间距；所述参考层子标记包含平行分布的若干条参考层条形标记，且存在至少一条参考层条形标记的长度大于其他参考层条形标记。本发明可以采用同一对准标记实现多种对准、测量功能，从而提高空间利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 版图 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
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