[发明专利]一种高精度定位调平装置在审
| 申请号： | 202211722301.6 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN116107178A | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;魏炫宇;刘明刚;刘毅 | 申请（专利权）人： | 天府兴隆湖实验室 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610213 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种高精度定位调平装置，包括沿着曝光光源方向设置的柔性吸盘模块、预调平模块、支撑板，所述柔性吸盘模块可产生正交的矫正力，带动目标掩模在矫正组件的轴线方向进行正交方向的偏移；所述预调平模块可带动预调平模块及柔性吸盘按照预期轨迹运动，控制目标掩模的空间位置；所述预调平模块的另一端与支撑板相连，本申请通过预调平模块的预对准（主动）和柔性吸盘模块的精对准（自适应，被动）双级调平系统保证晶圆与基片的调平与间隙控制稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 定位 平装 | ||
【主权项】：
暂无信息
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