[发明专利]一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法在审
| 申请号： | 202211738290.0 | 申请日： | 2022-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN115938895A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 郭如勇;王婉琳;李非易;桂正亚;张政;朱晓桦;周晓慧;沈轩羽;马超然;王孝宇 | 申请（专利权）人： | 国电投核力创芯（无锡）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/317;H01L21/02;H01L21/263;H01L21/423 |
| 代理公司： | 无锡三谷高智知识产权代理事务所(普通合伙) 32569 | 代理人： | 陈勤 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市锡山区安*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种束流传输线用偏角辐照系统及其辐照方法包括：所述辐照系统包括：束流传输线；送料部，位于所述束流传输线的底部；所述束流传输线包括：水平部；转向部，包括一90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面；垂直部，包括与90度偏转磁铁连通的束流管道，置在所述束流管道周部的偏转机构，及设置在束流管道端部的束流出口；本发明通过设计90度偏转磁铁，使得水平部的束流经过90度偏转磁铁垂转向，并垂直于水平面，进而当束流传输线需要辐照晶圆时，晶圆与水平面平行即可，进而避免了晶圆在辐照时发生脱离现象，且由于托板与水平面平行放置，后续送料系统常规布置即可，无需改变整体方位，使得安装布置更加便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流传 输线用 偏角 辐照 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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