[实用新型]一种顶升旋转抽真空装置有效
| 申请号： | 202220031867.3 | 申请日： | 2022-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN217676626U | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 党小锋;刘全义;张月兰;翁端佳 | 申请（专利权）人： | 九域半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B66F7/14 | 分类号： | B66F7/14;B66F7/28;F16B47/00 |
| 代理公司： | 苏州汇德卓越专利代理事务所(普通合伙) 32496 | 代理人： | 王佳鑫 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及到一种顶升旋转抽真空装置，包括顶升装置、旋转真空装置以及电路装置；所述顶升装置包括步进电机以及套设在步进电机电机转轴上的丝杆螺母，还包括推手，所述推手上设置有配合穿设在电机转轴上的通孔；所述旋转真空装置包括与推手连接的连接板，还包括与连接板连接的旋转电机，还包括与旋转电机电机转轴连接的托举台；本方案中的顶升旋转抽真空装置结构紧凑、传动效率高且控制稳定，同时搭配高精度步进电机，可对顶升高度和旋转角度微量精确控制；顶升和旋转功能独立实现，易于控制，提高了可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 真空 装置 | ||
【主权项】：
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