[实用新型]一种半导体锭和晶圆自动判断装置有效
| 申请号： | 202220031870.5 | 申请日： | 2022-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN217688791U | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 党小锋;刘全义;张月兰;翁端佳 | 申请（专利权）人： | 九域半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 苏州汇德卓越专利代理事务所(普通合伙) 32496 | 代理人： | 王佳鑫 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及到一种半导体锭和晶圆自动判断装置，包括直线滑轨组以及滑移连接在直线滑轨组上的承载台，还包括驱动承载台沿直线滑轨组移动的驱动装置，所述驱动装置包括驱动电机以及传动皮带，还包括设置在承载台侧壁的卡夹，所述传动皮带穿设在卡夹中，还包括检测探头；该机构结构简单易拆分、维修与更换，功能齐全，成本低；且能自动判断半导体锭和晶圆，从而降低人工成本并简化设备操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 自动 判断 装置 | ||
【主权项】：
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