[实用新型]一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置有效

专利信息
申请号: 202220139202.4 申请日: 2022-01-19
公开(公告)号: CN217453440U 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 李长坤;谢永奕 申请(专利权)人: 广东硅峰半导体有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B41/06;B24B47/22
代理公司: 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 代理人: 王峰刚
地址: 528200 广东省佛山市南海区桂城街道桂澜*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种硅抛光片用表面腐蚀防护装置,包括抛光机体,所述抛光机体的顶部分别固定安装有台面和支撑架,所述支撑架的顶部焊接有横梁,所述台面顶部的内侧固定安装有防腐层,所述台面的顶部活动连接有夹持装置,所述夹持装置包括第一夹具和第二夹具,所述第一夹具的左侧设有调节杆,所述调节杆的外侧套接有压力弹簧,所述压力弹簧的外部设有外壳,所述压力弹簧的右侧设有限位块,所述第二夹具的正面固定安装有连接件,所述连接件的底部固定连接有滑块,所述第二夹具的右侧设有电动推杆。该硅抛光片用表面腐蚀防护装置,能够更好的适应不同大小硅抛光片的固定工作,通过该装置能够适应不同规格的硅抛光片加工,具有良好的适用性能。
搜索关键词: 一种 抛光 表面 腐蚀 防护 装置
【主权项】:
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