[实用新型]一种单晶炉副室有效
| 申请号： | 202220145965.X | 申请日： | 2022-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN216639704U | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 周云龙 | 申请（专利权）人： | 浙江晶泰半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 陈包杰 |
| 地址： | 325600 浙江省温州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种清扫擦拭更加方便的单晶炉副室。采用的技术方案包括：单晶炉副室本体，所述单晶炉副室本体的侧壁至少设有一个清洗窗，所述清洗窗包括焊接于所述单晶炉副室本体侧壁上的底座以及通过铰链铰接于所述底座一端的上盖所述上盖内设有冷却液流道、一侧设有与所述冷却液流道连通的进水口和出水口。优点如下：1、通过在单晶炉副室本体侧壁设置一组清洗窗，通过清洗窗可对单晶炉副室本体进行分段清扫擦拭，可以不需要将单晶炉副室本体拆卸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉副室 | ||
【主权项】：
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