[实用新型]一种带有防护罩体的半导体晶圆储存装置

摘要

本实用新型公开了一种带有防护罩体的半导体晶圆储存装置，包括储存柜和罩设在储存柜外侧的防护罩；所述储存柜的下方设置有电磁铁和若干移动轮；所述防护罩固定设置在底板上，所述底板位于储存柜的下方，所述底板上与若干移动轮相对应处开设有若干竖向通孔，所述底板的上表面设置有与所述电磁铁相配合的磁性金属件；所述储存柜的一侧设置有柜门，所述防护罩为半包围结构，所述防护罩上与所述柜门相对应处设置有罩体缺口；所述底板的下板面设置有粗糙摩擦垫。本实用新型具有良好的防碰撞功能，能够避免外物碰撞导致晶圆受损，且储存装置移动方便。