[实用新型]一种清洗装置有效
| 申请号： | 202220229831.6 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN217289490U | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 谈仁翌 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B11/00;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 钟玉敏 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种清洗装置，包括：喷射单元、保护盒、旋转组件以及具有一可转动内环的轴承；其中，所述喷射单元位于所述保护盒上方，所述喷射单元的喷射面朝向待清洗物，所述保护盒的底部具有一进液口；所述轴承和所述旋转组件位于所述保护盒内；所述轴承与所述保护盒内壁连接，且所述可转动内环与所述进液口的位置相适应；所述旋转组件的一端与所述可转动内环连接，所述旋转组件的另一端与所述喷射单元连接；所述轴承和所述旋转组件共同连通所述进液口和所述喷射单元。本实用新型提供的清洗装置能够达到更好的清洗效果，并将喷射单元出现问题后的影响降低，提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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