[实用新型]一种压力可调节的芯片清洗用水箱有效
| 申请号： | 202220271525.9 | 申请日： | 2022-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN217491862U | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 钟良 | 申请（专利权）人： | 江苏盐芯微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京华际知识产权代理有限公司 11676 | 代理人： | 冯文霞 |
| 地址： | 224000 江苏省盐城市高新区智能*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种压力可调节的芯片清洗用水箱，包括主箱体，所述主箱体的内侧设置有调压箱，所述调压箱的一侧设置有移动压板，所述调压箱与移动压板滑动连接，所述移动压板的中端设置有滚轮，所述移动压板的上侧固定安装有齿条，所述齿条的上侧啮合连接有直齿轮，所述直齿轮的一侧固定连接有摇柄，所述调压箱的内部设置有分液口，所述调压箱的内侧固定连接有限位板，所述限位板的一侧活动连接有滑动挡板，所述滑动挡板的底部固定安装有压缩弹簧，所述主箱体的内部固定安装有储液箱，所述储液箱的一侧设置有水泵，所述水泵的一侧设置有调压箱，本实用新型，具有压力可调和自动风干的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力 调节 芯片 清洗 水箱 | ||
【主权项】：
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