[实用新型]一种用于探针台的晶圆防滑出结构

摘要

本实用新型公开了一种用于探针台的晶圆防滑出结构，包括底座，所述底座上端面设有后放置槽，所述底座上端面还设有两个收纳槽，两个所述收纳槽内均通过传动齿轮设有衔接杆，所述衔接杆底壁设有挤压槽，所述挤压槽内通过挤压机构设有挤压块。本实用新型通过设置挤压块、衔接杆、传动齿轮、螺纹杆、调节机构与转动机构，当螺母与衔接块以及齿条向两侧移动的时候可以带动传动齿轮顺势针转动，可以将处于垂直状态的衔接杆转动至平行状态，从而带动挤压块与挤压垫实现对晶圆的挤压固定，能有效防止晶圆滑动移动，在放置槽处于敞开状态下能避免晶圆滑出，该过程可以通过微型电机来实现，具备一定的自动化程度，降低操作人员操作量。