[实用新型]一种用于枚叶式晶圆清洗的清洗室有效
| 申请号： | 202220313334.4 | 申请日： | 2022-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN217165593U | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 申弘植 | 申请（专利权）人： | 成都高真科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 王鹏程 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了用于枚叶式晶圆清洗的清洗室，包括：壳体、置物组件、出风管道和叶轮节流阀，壳体内部设置有清洁空腔，置物组件固定设置在所述清洁空腔内，所述出风管道的进风口与所述清洁空腔的出风口连通，叶轮节流阀固定设置在所述出风管道上，且排气方向沿所述出风管道的进风口指向所述出风管道的出风口，本实用新型通过设置清洁空腔，并将枚叶式晶圆置于置物组件上，通过向清洁空腔内泵入向下流动的空气，通过空气对枚叶式晶圆进行清洁，并且通过在清洁空腔的出风管道上连接叶轮节流阀，使其能够即起到节流的效果，又能够调节清洁空腔内的气压，避免出现排气不畅导致清洁室内环境加工处理环境无法保证的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 枚叶式晶圆 清洗 | ||
【主权项】：
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