[实用新型]一种可集成装载多种型号基片的一体化治具有效

专利信息
申请号: 202220366456.X 申请日: 2022-02-23
公开(公告)号: CN217086537U 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 牙文飞 申请(专利权)人: 四川科尔威光电科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51248 代理人: 王德伟
地址: 610000 四川省成都市高新*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种可集成装载多种型号基片的一体化治具,包括本体,本体的放置面开设有放置基片的基片放置腔,基片放置腔包括若干方形腔,若干方形腔的尺寸沿基片放置腔的开设方向逐渐缩小,且方形腔的对角线重合,每个方形腔的底部均开设有圆形腔,且在正向投影上,圆形腔内切于对应方形腔,位于基片放置腔一侧的本体上开设有取放料槽,取放料槽的深度大于基片放置腔的深度,且取放料槽靠近基片放置腔的一端位于基片放置腔中部的圆形腔内。本实用新型的有益效果是:实现一种治具可以对应多种型号的基片装载,降低治具采购及管理成本,减少了治具的型号及数量,不仅大大降低成本,而且减少因更换治具导致的换型时间,大大提高了生产效率。
搜索关键词: 一种 集成 装载 多种 型号 一体化
【主权项】:
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