[实用新型]一种真空腔体测温窗自动清洁检测装置有效
| 申请号： | 202220413734.2 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN217358788U | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 周环宇;周立平;刘英斌;杨凯 | 申请（专利权）人： | 山西烁科晶体有限公司 |
| 主分类号： | G01K11/14 | 分类号： | G01K11/14;G01K1/00;B08B5/02 |
| 代理公司： | 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 | 代理人： | 吴立;冷锦超 |
| 地址： | 030006 山西省太*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空腔体测温窗自动清洁检测装置，属于半导体晶体生长设备技术领域；包括测温窗、旋转升降系统、灰尘吹扫系统、石英片透光率检测系统；测温窗设置于真空腔体的开孔上方，旋转升降系统包括升降气缸、旋转电机，旋转电机固定设置在升降气缸的伸缩杆上端，旋转电机的输出轴与测温窗通过连接杆相连；灰尘吹扫系统设置于测温窗的一侧，包括吹扫头、吹扫底座、升降机构，吹扫头通过升降机构固定在吹扫底座上，吹扫头顶端设有套接的压缩空气管道与真空管道；石英片透光率检测系统设置于灰尘吹扫系统的一侧，包括光源接收传感器及其上方的透光率检测光源；解决了现有测温窗清洁过程耗费大量人力成本，且无法保证石英片清洁效果的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 测温 自动 清洁 检测 装置 | ||
【主权项】：
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