[实用新型]一种用于基板植球后检测的线扫检测机构有效
| 申请号： | 202220453010.0 | 申请日： | 2022-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN216870412U | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 刘泽洋;谢旭波;付清华 | 申请（专利权）人： | 上海微松工业自动化有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201100 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及检测设备技术领域，尤其是涉及一种用于基板植球后检测的线扫检测机构，包括固定座和支架，所述固定座固定支撑在所述支架上，所述固定座上滑移设置有线扫组件以及带动所述线扫组件滑移的驱动组件，所述线扫组件包括滑移设置在所述固定座上的安装座、设置在安装座上的打光灯以及设置在安装座上的照相机，所述打光灯上沿照相机照射方向贯穿开设有避让槽，本申请具有便于对植球后的基板的植球情况进行检测的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 基板植球后 检测 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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